최대속도 4㎧, 반복능 ±1㎛ 실현

반도체 제조장비, LCD 제조 및 검사 장비등 자동화 설비에 대응가능한 초정밀 고성능 리니어 모터
- 철심형 ~ 고추력 (정격추력 1000N), 안티 코킹 구조 (특허출원번호 : 10-2007-0056582)
- 무철심형 ~ ±0.1%이하의 속도 리플 (1㎧)
 

지진 발생시 고가의 장비를 안전하게 보호

- 지진규모 8이상의 입력가속도에서도 제품을 안전하게 보호
- 서버, 데이터 장치, 의료기기, 문화재, 데이터 창고 등에 적용 가능
- 신제품인증(NEP) 외 다수 인증 및 특허보유
- 은행, 지자체, 관공서 등 다수 실적 보유

8세대 PDP REVIEW / REPAIR용 GANTRY형 초정밀 STAGE

- 최대속도 1㎧

- 최대가속도 1G

- 반복능 ±1㎛

- Straightness ±10㎛ 실현

은나노 잉크를 이용한 전도성 패턴생성

태양광 전지 회로전극 패턴 생성

 - 패턴 속도 : 7 ~ 7.2 sec/wafer 

 - 장비 위치정도 : ±2㎛

잉크 액적 모니터링 기능 탑재

 - 검사시간 : 128nozzle/13sec

450mm 웨이퍼 이송장비

반도체 웨이퍼 크기 450mm 이송가능한 로봇

- 450mm용 핸드 개발(알루미늄, CFRP, 세라믹)

- 이송 속도 1~2m/s 구현

- 분산형 로봇제어기 반영

- 제진기능 내장

태양전지용 잉곳 절단장비

- 웨이퍼 두께 100~180㎛ 가공

- 와이어 속도 15~20m/s

- 절삭속도 0.5~1.1mm/min 구현

- 직결모터 적용으로 진동 저감

- 절단능력 620mmX156mmX156mm

- 다양한 비철금속재료 절단 가능 (희토류, 비금속 재료)

Top loading 방식의 PnP 작업을 위한 고속이송로봇

- 이송속도 50~120 cycle/min

- 비전시스템과 연동한 컨베이어 트래킹 구현